记者从省科技厅获悉,近日由我省牵头开发的“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用开发”和“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”两项国家重大科学仪器设备顺利通过科技部组织的综合验收,两个项目均为“十二五”期间我省获批的国家重大科学仪器设备开发专项,获批专项资金共1.2亿元,项目总投入近2亿元。 昆山禾信开发的新型高分辨杂化质谱仪器,攻克了离子阱射频电源、微通道板离子检测器、高速数据采集卡、微弱信号前置放大器等多项关键技术;完成了3款国际先进的质谱整机研发及工程化,在国内首次实现了不同种类质量分析器的联用。 苏大维格研发的纳米图形化直写与成像检测仪器,解决了微纳结构光场的可调控技术、图形的高速率写入机制、微纳结构与纳米精度多轴光机系统的设计与可靠性等难题;实现了从纳米光子晶体结构到微米级任意结构的高效率光刻。(于丹丹)
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